发明名称 |
PIEZOELECTRIC SENSOR DEVICE AND DETECTING METHOD FOR CHANGE IN ELECTRIC CONSTANT BY USING IT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH11281562(A) |
申请公布日期 |
1999.10.15 |
申请号 |
JP19980081500 |
申请日期 |
1998.03.27 |
申请人 |
NGK INSULATORS LTD |
发明人 |
HIROTA JUICHI;ONISHI KOSEI;MIYATA KEIZO;SHIBATA KAZUYOSHI |
分类号 |
G01L1/10;G01H13/00;G01N9/00;G01N11/16;H01L41/08;(IPC1-7):G01N11/16 |
主分类号 |
G01L1/10 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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