发明名称 PIEZOELECTRIC SENSOR DEVICE AND DETECTING METHOD FOR CHANGE IN ELECTRIC CONSTANT BY USING IT
摘要
申请公布号 JPH11281562(A) 申请公布日期 1999.10.15
申请号 JP19980081500 申请日期 1998.03.27
申请人 NGK INSULATORS LTD 发明人 HIROTA JUICHI;ONISHI KOSEI;MIYATA KEIZO;SHIBATA KAZUYOSHI
分类号 G01L1/10;G01H13/00;G01N9/00;G01N11/16;H01L41/08;(IPC1-7):G01N11/16 主分类号 G01L1/10
代理机构 代理人
主权项
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