发明名称 THIN FILM TRANSISTOR AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR100225231(B1) 申请公布日期 1999.10.15
申请号 KR19960041758 申请日期 1996.09.23
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION. 发明人 HSU LOUIS, LU-CHEN;SACCAMANGO, MARY JOSEPH;SHEPARD, JOSEPH FRANCIS
分类号 H01L21/336;H01L29/423;H01L29/49;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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