发明名称 METAL WIRING FORMING METHOD IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100226472(B1) 申请公布日期 1999.10.15
申请号 KR19920008258 申请日期 1992.05.15
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 LEE, BOK-HYUNG
分类号 H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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