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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF THIN FILM
摘要
申请公布号
JPH11274089(A)
申请公布日期
1999.10.08
申请号
JP19980096776
申请日期
1998.03.25
申请人
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD
发明人
HABUKA HITOSHI;OTSUKA TORU
分类号
H01L21/205;H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
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