发明名称 MANGANESE-IRIDIUM ALLOY SPUTTERING TARGET FOR FORMING MAGNETIC THIN FILM, MAGNETIC THIN FILM AND PRODUCTION OF MANGANESE-IRIDIUM ALLOY SPUTTERING TARGET FOR FORMING MAGNETIC THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH11264070(A) 申请公布日期 1999.09.28
申请号 JP19980088240 申请日期 1998.03.18
申请人 JAPAN ENERGY CORP 发明人 SHINDO YUICHIRO;SUZUKI TSUNEO
分类号 C22C1/02;C22C5/04;C22C22/00;C23C14/34;H01F10/08;H01F10/32;H01F41/18;H01L43/10;H01L43/12;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C22C1/02
代理机构 代理人
主权项
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