发明名称 ION SOURCE AND ION IMPLANTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11260275(A) 申请公布日期 1999.09.24
申请号 JP19980057084 申请日期 1998.03.09
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 YABE KAZUO;SATO MITSUO
分类号 H01J27/08;H01J37/317;(IPC1-7):H01J27/08 主分类号 H01J27/08
代理机构 代理人
主权项
地址