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经营范围
发明名称
ION SOURCE AND ION IMPLANTING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH11260275(A)
申请公布日期
1999.09.24
申请号
JP19980057084
申请日期
1998.03.09
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
YABE KAZUO;SATO MITSUO
分类号
H01J27/08;H01J37/317;(IPC1-7):H01J27/08
主分类号
H01J27/08
代理机构
代理人
主权项
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