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Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Rastern bei der konfokalen Mikroskopie und ein konfokales Mikroskop, wie es insbesondere zur mikroskopischen Gestaltsvermessung bzw. zur Vermessung von Oberflächenstrukturen in der 3D-Meßtechnik, Mikrosystemtechnik u. a. zur Qualitätskontrolle verwendet wird. DOLLAR A Die Aufgabe der Erfindung, ein gattungsgemäßes Verfahren und ein konfokales Mikroskop zu entwickln, mit denen eine einfache, kostengünstige, zuverlässige und schnelle Rasterung von Probenoberflächen/Objektoberflächen gewährleistet sind, wird dadurch gelöst, daß die Probenoberfläche (5) innerhalb des Sichtfeldes des konfokalen Mikroskops gleichzeitig von mindestens zwei Strahlungspunkten (13) spalten- und zeilenweise abgerastert wird, wobei die Strahlungspunkte (13) innerhalb einer Kette (10) oder einer Matrix (12) so angeordnet werden, daß selbst bei der eingegrenzten Rasterbewegung der Kette (10) oder der Matrix (2) das gesamte Sichtfeld des Mikroskops ohne Lücken abgerastert wird. Das erfindungsgemäße konfokale Mikroskop ist dadurch gekennzeichnet, daß ein Mikrospiegelarray (18) sowohl für die pixelweise Beleuchtung einer Probe (5) als auch für den pixelweisen Empfang der von der Probe (5) reflektierten und gestreuten Strahlung angeordnet ist.
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