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发明名称
Verfahren zur Wiederherstellung lithographischen Phasenverschiebungsmasken
摘要
申请公布号
DE69228725(T2)
申请公布日期
1999.09.09
申请号
DE19926028725T
申请日期
1992.09.10
申请人
AT & T CORP.
发明人
PIERRAT, CHRISTOPHE
分类号
G03F1/00;H01L21/027;(IPC1-7):G03F1/00
主分类号
G03F1/00
代理机构
代理人
主权项
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