| 摘要 |
본 발명은 레이저 조사 장치 및 방법을 개시한다. 구체적으로, 본 발명의 실시예에 따른 레이저 조사 장치 및 방법은, 레이저 빔을 생성하는 빔 생성부; 상기 빔 생성부로부터 전달된 상기 레이저 빔의 방향을 조절하는 스캔 미러부; 및 상기 스캔 미러부를 통해 방향이 조절된 상기 레이저 빔을 반사시키는 회전 미러;를 포함하고, 상기 회전 미러는, 상기 방향이 조절된 상기 레이저 빔이 가공 대상물 상에 선형 레이저 광을 형성하며 조사되도록 회전 가능 하도록 마련되는 것을 포함한다. |
