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发明名称 METHOD FOR IDENTIFYING WAFERS IN CHIP MANUFACTURING AND DEVICE FOR ITS IMPLEMENTATION
摘要
申请公布号 EP0938744(A1) 申请公布日期 1999.09.01
申请号 EP19970910229 申请日期 1997.09.29
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 WOHLLEBEN, JUERGEN;FREUNDORFER, JOHANNES
分类号 H01L21/02;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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