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发明名称 CONCENTRATION APPARATUS OF ION TEST
摘要
申请公布号 KR100219800(B1) 申请公布日期 1999.09.01
申请号 KR19960059060 申请日期 1996.11.28
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 JU, JIN-HO;KIM, SANG-KYUNG;KANG, SUNG-CHUL
分类号 H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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