| 发明名称 |
HIGH QUALITY SILICON SINGLE CRYSTAL WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11236293(A) |
申请公布日期 |
1999.08.31 |
| 申请号 |
JP19980042627 |
申请日期 |
1998.02.24 |
| 申请人 |
SUMITOMO METAL IND LTD |
发明人 |
OKUI MASAHIKO;NISHIMOTO MANABU;EGASHIRA KAZUYUKI;KUBO TAKAYUKI;KIZAKI SHINGO;HORII JUNJI |
| 分类号 |
C30B29/06;H01L21/02;H01L21/208;H01L21/66;(IPC1-7):C30B29/06 |
主分类号 |
C30B29/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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