发明名称 SPUTTERING DEVICE FOR FILM FORMATION
摘要
申请公布号 JPH11229131(A) 申请公布日期 1999.08.24
申请号 JP19980050034 申请日期 1998.02.17
申请人 NIKON CORP 发明人 AKIYAMA TAKAYUKI
分类号 C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
地址