| 摘要 |
<p>Die Erfindung hat sich zur Aufgabe gemacht, Verfahren zur elektrischen Austeuerung von piezoelektrischen oder elektrostriktiven Aktuatoren in Verschiebe- und Positioniervorrichtungen zu verbessern, so dass z.B. Objekte mit hoher Genauigkeit im nm-Bereich durch Variation der Schrittweite positioniert werden können, wobei die eingestellte Position im spannungs- und stromlosen Zustand gehalten wird. Die Aufgabe wird dadurch gelöst, dass das elektrische Spannungssignal zur Ansteuerung des Aktuators eine geeignete Kombination aus Bereichen mit langsamen Spannungsänderungsgeschwindigkeiten und Spannungsflanken aufweist, wobei die Spannungshübe der Spannungsflanken die Schrittweite pro Spannungssignal bestimmen, die sich ohne Variation der Betriebsspannung einstellen lassen. Die Verfahren eignen sich insbesondere für piezoelektrische Trägheitsantriebe, die eine variable Schrittweite und hohe Positioniergenauigkeit im stromlosen Zustand aufweisen sollen.</p> |
