发明名称 PCVD-VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BESCHICHTUNG VON GEWÖLBTEN SUBSTRATEN
摘要
申请公布号 DE59506358(D1) 申请公布日期 1999.08.12
申请号 DE19955006358 申请日期 1995.03.29
申请人 SCHOTT GLAS, 55122 MAINZ, DE 发明人 HEMING, MARTIN, D-55442 STROMBERG, DE;LANGE, ULRICH, D-55411 BINGEN, DE;LANGFELD, ROLAND, D-60489 FRANKFURT, DE;MOEHL, WOLFGANG, D-67550 WORMS, DE;OTTO, JUERGEN, D-55128 MAINZ, DE;PAQUET, VOLKER, D-55126 MAINZ, DE;SEGNER, JOHANNES, D-55442 STROMBERG, DE;WALTHER, MARTEN, D-55270 BUBENHEIM, DE
分类号 C23C16/44;C23C16/50;C23C16/52;(IPC1-7):C23C16/52 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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