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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur gesteuerten Teilchenabscheidung auf Oberflächen
摘要
申请公布号 DE19781983(T1) 申请公布日期 1999.08.12
申请号 DE19971081983T 申请日期 1997.08.19
申请人 MSP CORP., MINNEAPOLIS, MINN., US 发明人 LIU, BENJAMIN Y.H., NORTH OAKS, MINN., US;SUN, JAMES J., NEW BRIGHTON, MINN., US
分类号 B05D1/04;B05B1/26;B05B5/043;B05B7/00;B05B7/30;B05B17/06;H01L21/316;(IPC1-7):B05B7/04 主分类号 B05D1/04
代理机构 代理人
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