| 发明名称 |
MANUFACTURING FOR SILICON SEMICONDUCTOR SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11214322(A) |
申请公布日期 |
1999.08.06 |
| 申请号 |
JP19980017181 |
申请日期 |
1998.01.29 |
| 申请人 |
SUMITOMO METAL IND LTD |
发明人 |
SHIRAKAWA YOSHINORI;ENDO AKIHIKO |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/02;H01L21/265;H01L21/322;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/265 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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