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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH11214662(A)
申请公布日期
1999.08.06
申请号
JP19980017014
申请日期
1998.01.29
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
UEDA KIMIHIRO;HIROTA TAKANORI;WADA YOSHIKI;MASUKO KOICHIRO
分类号
H01L21/82;H01L27/02;H01L27/118;H01L27/12;(IPC1-7):H01L27/118
主分类号
H01L21/82
代理机构
代理人
主权项
地址
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