微型激光微尘粒计数器光学传感器

摘要

本实用新型公开了一种微型激光微尘粒计数器光学传感器,它是由激光光源、发射光导管和接收光导管构成,发射光导管将激光分成两束平行的、光强度基本均匀的光平面,照射样气通道内微尘粒的散射光由接收光导管传输给光电耦合器。本实用新型体积小,重量轻,全系统均采用非成像元件,光敏测试区大于40mm²,同一微尘粒在不同点的散射光不受位置变化影响,且加工容易,精度高,可广泛适用于大规模半导体集成器件超净生产环境中。

主权项

1、一种微型激光微尘粒计数器光学传感器，其特征在于它是由激光光源[1]、发射光导管[2]、接收光导管[6]构成，光源[1]位于发射光导管[2]的入口处，发射光导管[2]由光学下片[2-1]和光学上片[2-2]紧密配合而成，光学下片[2-1]上开有凹槽，凹槽内间隔设置分光镜[3]和全反镜[4]，光学上片[2-2]与光学下片[2-1]凹槽内分光镜[3]和全反镜[4]对称位置开有两个矩形通道，两通道内侧纵向对称安装有柱面镜[5]；接收光导管[6]也由光学上片[6-1]和光学下片[6-2]紧密配合而成，光学上片[6-1]上开有与发射光导管[2]中光学上片[2-1]相对应的两个通道，光学下片[6-2]两端开有对称的喇叭形凹槽，在两喇叭形凹槽内与光学上片[6-1]两通道对应位置分别放有全反镜[7]，在两喇叭形凹槽的出口处分别设置有光电耦合器[8]。