| 发明名称 |
SURFACE TREATING METHOD AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11209867(A) |
申请公布日期 |
1999.08.03 |
| 申请号 |
JP19980010837 |
申请日期 |
1998.01.22 |
| 申请人 |
SEIKO EPSON CORP |
发明人 |
TAKAHASHI KATSUHIRO;KURASHINA OSAMU;TSUTSUI TAKUJI;AKIYAMA HIROAKI;MIYAJIMA HIROO;MORI YOSHIAKI |
| 分类号 |
B23K1/20;C01B7/19;C23C8/08;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H05K3/26;H05K3/34;(IPC1-7):C23C8/08;H01L21/306 |
主分类号 |
B23K1/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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