发明名称
摘要
申请公布号 JP2929253(B2) 申请公布日期 1999.08.03
申请号 JP19920299209 申请日期 1992.10.12
申请人 TOKYO EREKUTORON KK 发明人 NAKAMURA YOSHIHIKO
分类号 G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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