| 发明名称 |
SECONDARY CHIP FOR DEVELOPING PATTERN AND METHOD FOR DEVELOPING PATTERN USING IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11198138(A) |
申请公布日期 |
1999.07.27 |
| 申请号 |
JP19980015010 |
申请日期 |
1998.01.09 |
| 申请人 |
TAJIMA INC |
发明人 |
KONDO KIYOHIKO;UMEDA FUMIHISA |
| 分类号 |
B29B13/10;B29C59/02;(IPC1-7):B29B13/10 |
主分类号 |
B29B13/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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