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发明名称 Analytisches Verfahren zum Nachweis von nichtmetallischen Verunreinigungen in Silizium
摘要
申请公布号 DE69414613(T2) 申请公布日期 1999.07.22
申请号 DE19946014613T 申请日期 1994.01.06
申请人 DOW CORNING CORP., MIDLAND, MICH., US 发明人 DAUGHERTY, RICHARD DEWAYNE, HANOVER, INDIANA, US;HALM, ROLAND LEE, MADISON, INDIANA, US;KUIVILA, CHARLES SPENCER, CRESTWOOD, KENTUCKY, US
分类号 G01N31/00;G01N33/20;(IPC1-7):G01N33/20;C01B33/037 主分类号 G01N31/00
代理机构 代理人
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