发明名称 Halbleiter-Bauelement und Verfahren zu dessen Herstellung
摘要
申请公布号 DE19615495(C2) 申请公布日期 1999.07.22
申请号 DE19961015495 申请日期 1996.04.19
申请人 FORSCHUNGSZENTRUM JUELICH GMBH, 52428 JUELICH, DE 发明人 MARSO, MICHEL, DR., 52428 JUELICH, DE;HORSTMANN, MANFRED, 52428 JUELICH, DE;LUETH, HANS, PROF., 52076 AACHEN, DE
分类号 H01L31/112;H01L31/18;(IPC1-7):H01L29/772;H01L21/335 主分类号 H01L31/112
代理机构 代理人
主权项
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