| 发明名称 | 微光学开关及其制作方法 | ||
| 摘要 | 本发明属于光纤通信中微光学信息处理技术领域,包括结合成一体的芯片、引线框架、金引线及塑料封装外壳芯片由硅片,插入硅片中的入射、出射光纤及制作在硅片上反射入/出射光的由聚酰亚胺多晶硅复合微梁和微镜支持框架支撑的一个以上微镜,以及结合于该微镜上、下表面的二电极所组成。本发明具有结构简单,制造方便,驱动角度小,能耗低,快速性好,惯量小,无阻尼自振频率高,使用方便等诸多优点,易于推广应用。 | ||
| 申请公布号 | CN1223381A | 申请公布日期 | 1999.07.21 |
| 申请号 | CN98111716.3 | 申请日期 | 1998.12.25 |
| 申请人 | 清华大学 | 发明人 | 叶雄英;卜敏强;周兆英 |
| 分类号 | G02B6/00 | 主分类号 | G02B6/00 |
| 代理机构 | 清华大学专利事务所 | 代理人 | 廖元秋 |
| 主权项 | 1、一种微光学开关，包括结合成一体的芯片、引线框架、金引线及塑料封装外壳，其特征在于，所说的芯片由硅片，插入硅片中的入射、出射光纤及制作在硅片上反射入/出射光的由聚酰亚胺多晶硅复合微梁和微镜支持框架支撑的一个以上微镜，以及结合于该微镜上、下表面的二电极所组成。 | ||
| 地址 | 100084北京市海淀区清华园 | ||