| 发明名称 |
CORPUSCULAR BEAM DEVICE HAVING ENERGY FILTER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11195396(A) |
申请公布日期 |
1999.07.21 |
| 申请号 |
JP19980299504 |
申请日期 |
1998.10.21 |
| 申请人 |
LEO ELEKTRONENMIKROSKOPIE GMBH |
发明人 |
WEIMER EUGEN;BIHR JOHANNES |
| 分类号 |
G01Q30/20;H01J37/05;H01J49/44;(IPC1-7):H01J37/05 |
主分类号 |
G01Q30/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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