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发明名称
SEMICONDUCTOR CLEAN ROOM SYSTEM
摘要
申请公布号
KR100208703(B1)
申请公布日期
1999.07.15
申请号
KR19960039406
申请日期
1996.09.11
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD.
发明人
LEE, JUNG-SEON;CHOI, JAE-HEUNG;HAN, SANG-JO;HAN, YOON-SU
分类号
F24F7/06;H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02
主分类号
F24F7/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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