| 发明名称 |
Method of simultaneously forming a contact/via plug and an interconnect |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0800206(A3) |
申请公布日期 |
1999.07.14 |
| 申请号 |
EP19970302303 |
申请日期 |
1997.04.03 |
| 申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED |
发明人 |
PARANJPE, AJIT P. |
| 分类号 |
C23C16/06;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/320 |
主分类号 |
C23C16/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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