| 发明名称 | 有孔曲面电极及其加工方法 | ||
| 摘要 | 本发明用一种新的加工方法来提高曲面电极上的孔眼位置精度。在该方法中,形成曲面电极的变形步骤在形成光致抗蚀剂图模的处理步骤之前,因此不存在变形处理步骤在空间位置上改变光致抗蚀剂图模的问题。对于使用本方法加工的曲面电极的离子推进器,所述位置精度的提高可以改善其性能,延长其使用寿命。 | ||
| 申请公布号 | CN1222981A | 申请公布日期 | 1999.07.14 |
| 申请号 | CN98800465.8 | 申请日期 | 1998.04.08 |
| 申请人 | 休斯电子公司 | 发明人 | 约汉·R·比迪 |
| 分类号 | G03F7/24;F03H1/00;H01J27/02 | 主分类号 | G03F7/24 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王以平 |
| 主权项 | 1、一种加工有孔曲面电极的方法，包括下列步骤：制备一个金属曲面部件(64)；用光致抗蚀剂(66)覆盖所述曲面部件上的网壁部分(80)；蚀刻所述曲面部件，在所述网壁部分之间形成孔眼(94)；和去除所述光致抗蚀剂。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚 | ||