| 发明名称 |
PRODUCTION OF SILICON SINGLE CRYSTAL HAVING LOW CRYSTAL DEFECT AND SILICON SINGLE CRYSTAL WAFER PRODUCED THEREWITH |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11180800(A) |
申请公布日期 |
1999.07.06 |
| 申请号 |
JP19970364143 |
申请日期 |
1997.12.17 |
| 申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
IIDA MAKOTO;IINO EIICHI;SUZUKI SATOSHI;KIMURA MASAKI;MURAOKA SHOZO |
| 分类号 |
C30B15/00;C30B29/06;(IPC1-7):C30B29/06 |
主分类号 |
C30B15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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