发明名称 METHOD AND DEVICE FOR MEASURING SEMICONDUCTOR PARASITIC CAPACITANCE
摘要
申请公布号 JPH04134272(A) 申请公布日期 1992.05.08
申请号 JP19900258042 申请日期 1990.09.26
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 AMANO NORIAKI;YAMADA TOSHIRO
分类号 G01R27/26 主分类号 G01R27/26
代理机构 代理人
主权项
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