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发明名称 APPARATUS FOR ADJUSTING ELEMENT GAP OF SEMICONDUCTOR ELEMENT INSPECTING MACHINE
摘要
申请公布号 JPH11174119(A) 申请公布日期 1999.07.02
申请号 JP19980278049 申请日期 1998.09.30
申请人 MIRAE CORP 发明人 BAKKU U YORU
分类号 G01R31/26;H01L21/66;H01L21/68;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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