摘要 |
<p>In einer Vakuumbehandlungsanlage mit einer Vakuumkammer (1) ist ein drehgetriebener Teil (5) gelagert. Ein Getriebe für den Teil (5) umfasst zwei gegenseitig abrollende Übertragungs-Rotationskörper (10, 18), welche magnetisch miteinander antriebsgekoppelt sind (12, 20). Mindestens einer der erwähnten Übertragungs-Rotationskörper ist dabei innerhalb der Vakuumkammer (1) angeordnet.</p> |