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发明名称 METODO DI PULITURA CON MISCELA DI ACIDO CLORIDRICO E PEROSSIDO DI IDROGENO.
摘要
申请公布号 ITTO981057(A1) 申请公布日期 1999.06.30
申请号 IT1998TO01057 申请日期 1998.12.18
申请人 MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA;SHIKOKU INSTRUMENTATION CO., LTD. 发明人 ISHIMURA MUNEYUKI;KAN KAZUYUKI;NAKAOKA YASUYUKI;WAKE SETSUO
分类号 B08B3/08;B08B3/10;C11D;C23G1/02;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/306 主分类号 B08B3/08
代理机构 代理人
主权项
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