| 发明名称 |
OXIDE PRECURSOR SOL, ITS PREPARATION AND PRODUCTION OF OXIDE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11171507(A) |
申请公布日期 |
1999.06.29 |
| 申请号 |
JP19970362708 |
申请日期 |
1997.12.11 |
| 申请人 |
KANSAI SHINGIJUTSU KENKYUSHO:KK |
发明人 |
FUKUI TOSHIMI |
| 分类号 |
C01B13/32;C23C18/12;(IPC1-7):C01B13/32 |
主分类号 |
C01B13/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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