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发明名称 IMPURITY COLLECTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11166882(A) 申请公布日期 1999.06.22
申请号 JP19970334366 申请日期 1997.12.04
申请人 TOSHIBA MICROELECTRONICS CORP;TOSHIBA CORP 发明人 SHIMAZAKI AYAKO;OKUMURA KATSUYA;KANEKO MINAKO
分类号 G01N31/00;G01N1/28;G01N33/00;H01L21/66;(IPC1-7):G01N1/28 主分类号 G01N31/00
代理机构 代理人
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