发明名称 Transport module with latching door
摘要
申请公布号 SG65764(A1) 申请公布日期 1999.06.22
申请号 SG19980001450 申请日期 1998.06.17
申请人 FLUOROWARE, INC. 发明人 NYSETH, DAVID, L.;KRAMPOTICH, DENNIS, J.
分类号 B65D51/26;B65D6/40;B65D85/86;B65G49/07;H01L21/673;(IPC1-7):B65 主分类号 B65D51/26
代理机构 代理人
主权项
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