发明名称 辨识并区别贮存匣中隔板及放置其上片状物体之方法及装置
摘要 一种辨识并区别贮存匣中隔板及放置其上片状物体之方法及装置,其目的在于提高贮存格及物体位置测量之精确度,同时提高区别贮存匣种类时之辨识可靠度,而不会对物体的保护隔板有干扰影响。在一测量平面上呈交错配置的物体及不同种类物体隔板以其顶侧通过测量光束,每一光束只射至一种隔板范围。隔板顶侧在测量平面上的整个尺度完全被测量光束捕捉。本装置系用于制造集成电路。
申请公布号 TW362148 申请公布日期 1999.06.21
申请号 TW087112737 申请日期 1998.08.03
申请人 詹诺蒂克股份有限公司 发明人 彼得.沃伯格;曼佛雷德.罗斯勒
分类号 B65G49/07;G01B11/00;H01L25/00 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人 宿希成 台北巿南京东路三段三四六号一一一二室楼一一一二室;赖经臣 台北巿南京东路三段三四六号白宫企业大楼一一一二室
主权项 1.一种辨识并区别贮存匣中隔板及放置其上片状 物体之方 法及装置,其系利用相对于一个在贮存格上下排列 方向上 的测量平面而配置之隔板及物体,各隔板及物体之 顶侧先 后通过测量光束,而可由测量平面上垂直于测量光 束之交 错配置区别隔板种类,其特征为:每一测量光束(11, 12) 只射至一种隔板(1,2)范围,该隔板(1,2)顶侧在测量 平 面(E-E)上的整个尺度完全被测量光束(11,12)捕捉。2 .如申请专利范围第1项之装置,其中测量光束具一 基本 上呈矩形之截面,其在测量平面(E-E)上的尺度至少 等于 隔板(1,2)顶测的尺度,垂直于测量平面(E-E)的尺度 小 于物体(3,4)厚度。3.如申请专利范围第2项之装置, 其中测量光束(11,12) 彼此平行配置在贮存匣(15)的一个壁板(5,6)范围,且 彼 此有间距,该间距等于交错的尺度。4.如申请专利 范围第2项之装置,其中贮存匣(29)支承隔 板(1,2)的每一壁板(5,6)范围皆至少配置一测量光束 ( 11,12),且测量光束(11,12)彼此平行。5.如申请专利范 围第3项或第4项之装置,其中测量光束( 11,12)设计作雷射光势垒,其光束源(18,19,35,36) 及接收器(20,21,41,42)设在一框(13,22)上,贮存匣 (15,29)对正该框并垂直通过之。6.如申请专利范围 第5项之装置,其中两柱(23,24)支撑 着框(22),其彼此有间距,并构成一通风开口,其中一 柱 (24)上设一升降机驱动器,以驱动贮存匣(29)垂直移 动。7.一种辨识并区别贮存匣中隔板及放置其上 片状物体之方 法,其系以信号评估为基础,由于隔板及物体相对 于一个 在贮存格上下排列方向上的参考平面而配置,故测 量光束 之遮蔽产生该信号,各隔板及物体之顶侧先后通过 测量光 束,而可由测量平面上垂直于测量光束之交错配置 区别隔 板种类,其特征为:每一测量光束(11,112)只射至一种 隔板(1,2)范围,该隔板顶侧在测量平面(E-E)上的整 个 尺度完全被测量光束捕捉,而进行所有测量光束信 号之同 时比较评估。图式简单说明:第一图系测量光束配 置在一 壁板范围之5"贮存匣部份后视图。第二图系测量 光束配置 在一壁板范围之6"贮存匣部份后视图。第三图系 配置有测 量光束之贮存匣俯视图。第四图系贮存匣变址器 与下降贮 存匣之立体图。第五图系承载光束元件、接收器 及光束折 射系统之框的俯视图。第六图系以两平行测量光 束扫瞄一 5"贮存匣之信号曲线。第七图系以两平行测量光 束扫瞄一 6"贮存匣之信号曲线。第八图系电路方块图中之 变址器。
地址 德国