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发明名称 ION IMPLANTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11162396(A) 申请公布日期 1999.06.18
申请号 JP19970328781 申请日期 1997.11.28
申请人 SUMITOMO EATON NOBA KK 发明人 TAKAHASHI YUJI;INADA KOJI
分类号 B65H5/10;H01J37/12;H01J37/16;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 B65H5/10
代理机构 代理人
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