发明名称 |
LAMINATED PIEZO-ELECTRIC SINGLE CRYSTAL SUBSTRATE AND PIEZO-ELECTRIC DEVICE USING IT |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH11163668(A) |
申请公布日期 |
1999.06.18 |
申请号 |
JP19970327818 |
申请日期 |
1997.11.28 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
SUGIMOTO MASAHITO;TOMITA YOSHIHIRO;KAWASAKI OSAMU;OOTSUCHI TETSUO |
分类号 |
C30B29/30;H01L41/083;H03H3/02;H03H3/08;H03H9/17;(IPC1-7):H03H9/17 |
主分类号 |
C30B29/30 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|