发明名称 LAMINATED PIEZO-ELECTRIC SINGLE CRYSTAL SUBSTRATE AND PIEZO-ELECTRIC DEVICE USING IT
摘要
申请公布号 JPH11163668(A) 申请公布日期 1999.06.18
申请号 JP19970327818 申请日期 1997.11.28
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SUGIMOTO MASAHITO;TOMITA YOSHIHIRO;KAWASAKI OSAMU;OOTSUCHI TETSUO
分类号 C30B29/30;H01L41/083;H03H3/02;H03H3/08;H03H9/17;(IPC1-7):H03H9/17 主分类号 C30B29/30
代理机构 代理人
主权项
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