发明名称 |
METHOD FOR FORMING A FINE PATTERN USING NON-LINEAR EXPOSURE PROCESS |
摘要 |
|
申请公布号 |
KR100197663(B1) |
申请公布日期 |
1999.06.15 |
申请号 |
KR19960023232 |
申请日期 |
1996.06.24 |
申请人 |
HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD |
发明人 |
KIM, HYUNG-SOO |
分类号 |
G03F7/20;H01L21/00;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
G03F7/20 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|