发明名称 RESIST, PATTERN FORMING METHOD USING IT, SILICON POLYMER COMPOSITE, AND MANUFACTURE OF INSULATING FILM
摘要
申请公布号 KR100199653(B1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19960013334 申请日期 1996.04.27
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 HAYASE, SHUJI;NAKANO, YOSHIHIKO;NAKANO, YOSHIHIKO;ITO, MAO;MIKOSHIBA, SATOSHI;OKINO, TAKASHI;FUJIOKA, SAWAKO
分类号 C08G77/00;G03C5/00;G03F7/075;(IPC1-7):C08G77/00 主分类号 C08G77/00
代理机构 代理人
主权项
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