发明名称 FIXTURE EXCHANGING APPARATUS OF UVO3 AUTO CLEANER
摘要
申请公布号 KR200148893(Y1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19960014883U 申请日期 1996.06.04
申请人 ANAM SEMICONDUCTOR CO., LTD. 发明人 JO, YUN-CHAE;KIM, KYUNG-NAM
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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