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发明名称 METHOD OF CLEANING POLYSILICON OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100196508(B1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19960023659 申请日期 1996.06.25
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 GI, YOUNG-JONG
分类号 (IPC1-7):H01L21/341 主分类号 (IPC1-7):H01L21/341
代理机构 代理人
主权项
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