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发明名称 AIR-CONDITION SYSTEM USING CLEAN ROOM OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 KR100197900(B1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19960029967 申请日期 1996.07.24
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 YU, NAM-HEE;HANG, JANG-SEONG;KIM, KI-DU;HAN, YEONG-JIN
分类号 F24F3/14;B01D39/14;F24F3/16;F24F7/06;H01L21/02;(IPC1-7):F24F7/06 主分类号 F24F3/14
代理机构 代理人
主权项
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