| 发明名称 |
DEVICE FOR GROWING SINGLE CRYSTAL AND GROWTH OF SINGLE CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11157986(A) |
申请公布日期 |
1999.06.15 |
| 申请号 |
JP19970339437 |
申请日期 |
1997.11.25 |
| 申请人 |
SUPER SILICON KENKYUSHO:KK |
发明人 |
YAMAGISHI HIROTOSHI |
| 分类号 |
C30B15/24;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/24 |
主分类号 |
C30B15/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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