发明名称 CHEMICAL SUPPLY SYSTEM OF SEMICONDUCTOR EQUIPMENTS
摘要
申请公布号 KR200146296(Y1) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 KR19960003190U 申请日期 1996.02.27
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 LEE, MAN-YONG
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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