| 主权项 |
1.一种光线驱动型驱动装置,其特征为由;复数之光线导波路,与在此复数之光线导波路之各端部以光学方式结合所配置之复数之光线导电元件,与连接于此光线导电元件之各端子之一端侧之复数直流电压源,与共通连接上述光线导电元件之他端侧之输出端子,与由形成于此输出端子与外部端子之间之终端电阻所构成。2.如申请专利范围第1项之光线驱动型驱动器,其中由具有上述复数之直流电压源为发生规定给与被测试IC之测试图案讯号之H逻辑与L逻辑各电压之2个电压之2个直流电压源,与发生由被测试IC之规格所决定之终端电压之电压源所构成。3.一种光线输出型电压感测器,其特征为;由具备光线分岐部与光线台波部及形成于这些光线分岐部与光线合波部间之光线导波路,与分别夹住这些2条光线导波路所配置之2组电场施加电极之分岐干扰型式光线调变器所构成,此分歧干扰型式光线调变器一方组之电场施加电极对给与被测试电压讯号,将另方之电场施加电极对构成为共通连接,将从上述合波部所输出之光线作为干扰光线,将此干扰光线透过光线导波路传输,来再现被测试电压讯号。4.一种光线输出型电压感测器,其特征为;由具备光线分岐部与光线合波部及形成于这些光线分岐部与光线合波部之间之光线导波路,与分别夹住这些2条光线导波路所配置之2组电场施加电极之分岐干扰型式光线调变器所构成,此分岐干扰型式光线调变器之一方组之电场施加电极对给与被测试电压讯号,将另方之电场施加电极对构成为共通连接,将给与上述光线分岐部之光线成为脉冲状,将此脉冲状之光线作为对应于上述被测试电压讯号之电压値之干扰光线,将此干扰光线透过光线导波路传输,而再现上述被测试电压讯号。5.如申请专利范围第3项之光线输出型电压感测器,其中由共通连接构成上述2组之电场施加电极各一方之电场施加电极,对于此共通连接之电场施加电极与其他电场施加电极间给与被测试电压,对于上述2条光线导波路施加差动性电场所构成。6.如申请专利范围第4项之光线输出型电压感测器,其中由共通连接构成上述2组之电场施加电极各一方之电场施加电极,对于此共通连接之电场施加电极与其他电场施加电极间给与被测试电压,对于上述2条光线导波路施加差动性电场所构成。7.如申请专利范围第5项之光线输出型电压感测器,其中由将上述共通连接之电场施加电极之双方成为具有规定阻抗之讯号传输线构造,将给与此电场施加电极之电压讯号与透过上述光线导波路之光线向同一方向传播之构成。8.如申请专利范围第6项之光线输出型电压感测器,其中由将上述共通连接之电场施加电极之双方成为具有规定阻抗之讯号传输线构造,将给与此电场施加电极之电压讯号与透过上述光线导波路之光线向同一方向传播之构成。9.一种IC测试装置,其系对于被测试IC给与测试图案讯号,逻辑比较被测试IC之响应讯号与期待値图案,来判断上述被测试IC之良否者,其特征为由;在上述被测试IC附近配置上述申请专利范围第1或第2项之光线驱动型驱动器,对此光线驱动型驱动器给与将从波形发生器所输出之测试图案所变换之光线讯号来驱动上述光线驱动型驱动器,将藉驱动此光线驱动型驱动器所发生之电气测试图案讯号供给于被测试IC之构成。10.一种IC测试装置,其系对于被测试IC给与测试图案讯号,逻辑比较被测试IC之响应讯号与期待値图案,来判断上述被测试IC之良否者,其特征为由;在上述被测试IC附近配置上述申请专利范围第3至第8项任一项之光线输出型电压感测器,将被测试IC所输出之响应讯号藉上述光线输出型电压感测器变换为光线干扰光线,将此光线干扰光线透过光线导波路传输,于此传输对方藉光线检测器变换为电气讯号,将此电气讯号与上述期待値进行逻辑比较所构成。11.一种IC测试装置,其系对于被测试IC给与测试图案讯号,逻辑比较被测试IC之响应讯号与期待値图案,来判断上述被测试IC之良否者,其特征为由;在上述被测试IC附近配置上述申请专利范围第1项或第2项之光线驱动型驱动器,藉由使用光线讯号所传输之测试图案讯号驱动上述光线驱动型驱动器,而在被测试IC附近发生电气测试图案讯号,将此电气测试图案讯号供给被测试IC,并且,在上述被测试IC附近配置上述申请专利范围第3至第8项任一项之光线输出型电压感测器,将对应于从此光线输出型电压感测器所输出之上述被测试IC之响应讯号之干扰光线透过光线导波路传输,在其传输对方变换为电气讯号,将其被变换为电气讯号与上述期待値图案进行逻辑比较来判断被测试IC之良否之构成。12.一种IC测试装置,其系由;图案发生器,与由此图案发生器所输出之测试图案资料来生成给与被测试IC之测试图案讯号之波形发生器,与将被测试IC之响应讯号与上述图案发生器所输出之期待値图案进行逻辑比较,收容判断被测试IC之良否之逻辑比较器之主框架,与从主框架离开所配置,与具有被测试IC接触之IC插头之测试磁头所构成者;其特征为由;在上述测试磁头配置上述申请专利范围第1或第2项之光线驱动型驱动器,在上述主框架装设将从上述波形发生器所输出之测试图案讯号变换为光线讯号之光线讯号变换器,将藉由此光线讯号变换器所变换之光线测试图案讯号透过舖设于上述主框架与测试磁头之间之光线导波路传输到测试磁头,藉此光线测试图案讯号来驱动光线驱动型驱动器,将从此光线驱动型驱动器所发生电气测试图案讯号施加于被测试IC所构成。13.一种IC测试装置,其系由;图案发生器,与由此图案发生器所输出之测试图案资料来生成给与被测试IC之测试图案讯号之波形发生器,与将被测试IC之响应讯号与上述图案发生器所输出之期待値图案进行逻辑比较,收容判断被测试IC之良否之逻辑比较器之主框架,与从主框架离开所配置,与具有被测试IC接触之IC插头之测试磁头所构成者;其特征为由;在上述测试磁头配置上述申请专利范围第3至第8项之光线输出型电压感测器,将由上述被测试IC所输出之响应讯号藉由上述光线输出型电压感测器变换为光线讯号,将此光线讯号透过舖设于上述测试磁头与主框架之间之光线导波路传输到上述主框架,而由设在主框架之光线检测器变换为电气讯号,将此电气讯号于上述逻辑比较器与期待値图案进行比较,用来判断被测试IC之良否之构成。14.一种IC测试装置,其系由;图案发生器,与由此图案发生器所输出之测试图案资料来生成给与被测试IC之测试图案讯号之波形发生器,与将被测试IC之响应讯号与上述图案发生器所输出之期待値图案进行逻辑比较,收容判断被测试IC之良否之逻辑比较器之主框架,与从主框架离开所配置,与具有被测试IC接触之IC插头之测试磁头所构成者;其特征为由;在上述测试磁头配置上述申请专利范围第1或第2项之光线驱动型驱动器,在上述主框架装设将从上述波形发生器所输出之测试图案讯号变换为光线讯号之光线讯号变换器,将藉此光线讯号变换器所变换之光线测试图案讯号透过舖设于上述主框架与测试磁头之间之光线导波器传输到测试磁头,藉此光线测试图案讯号来驱动上述光线驱动型驱动器,将此光线驱动型驱动器所发生之电气测试图案讯号施加于被测试IC,并且,在上述测试磁头配置上述申请专利范围第3至8项之光线输出型电压感测器,将上述被测试IC所输出之响应讯号藉由上述光线输出型电压感测器变换为光线讯号,将此光线讯号透过舖设于上述测试磁头与主框架之间之光线导波路传输到上述主框架,由设于主框架之光线检测器变换为电气讯号,将此电气讯号于上述逻辑比较器与期待値图案进行比较,来判断被测试IC之良否之构成。15.如申请专利范围第14项之IC测试装置,其中靠近于构成上述光线输出型电压感测器之光线调变器形成补正用光线导波路,对此补正用光线导波路透过给与上述光线调变器之光线之一部分,将透过此补正用光线导波路之光线传输到上述主框架,于主框架变换为参照讯号,将此参照讯号与藉由从上述光线输出型电压感测器所传输到之光线讯号所发生之电气讯号进行演算作为被测试IC之响应讯号取出之构成。16.如申请专利范围第14项之IC测试装置,其中形成为;靠近于构成上述光线输出型电压感测器之光线调变器形成补正用光线导波路,对此补正用光线导波路透过给与上述光线调变器光线之一部分,将透过此补正用光线导波路之光线传输到上述主框架,于主框架变换为参照讯号,将此参照讯号反馈于给与上述光线输出型电压感测器之光源之驱动电路,将光源之输出强度安定化而取出被测试IC之响应讯号之构成。17.如申请专利范围第14项之IC测试装置,其中形成为,在上述测试磁头装设探针,在从此探针所突出支持之之探针搭载上述光线驱动型驱动器及光线输出型电压感测器,在形成于半导体晶圆之IC晶片之端子部分接触上述探针来测试IC晶片之构造。图式简单说明:第一图系用来说明使用依据本发明之光线驱动型驱动器之IC测试装置之一实施例如所用之接线图。第二图系用来说明使用依据本发明之光线输出型驱动器之IC测试装置之一实施例如所用之接线图。第三图系使用第二图所示实施例之光线调变器之构成与动作之平面图。第四图系用来说明第三图所示光线调变器之动作所用之波形图。第五图系使用于第二图所示实施例之光线输出型电压感测器之具体构造之一例之平面图。第六图系用来说明依据本发明之光线输出型电压感测器之变形实施例应用于IC测试装置之例所用之接线图。第七图系用来说明依据本发明之光线输出型电压感测器之另外其他变形实施例应用于IC测试装置之例所用之接线图。第八图系用来说明第二图所示IC测试装置之变形实施例所用之接线图。第九图系用来说明第八图之动作之波形图。第十图系与第九图相同之波形图。第十一图系表示适用依据本发明之光线驱动型式驱动器与光线输出型电压感测器之双方之IC测试装置之实施例之接线图。第十二图系表示第十一图之变形实施例之接线图。第十三图系表示第十一图之再另外变形实施例之接线图。第十四图系用来说明第十一图之再另外变形实施例之斜视图。第十五图系用来说明先行技术之IC测试装置之概要之图。第十六图系用来说明先行技术之IC测试装置之电气系统概要之方块图。第十七图系用来说明第十六图之动作所用之波形图。第十八图系用来说明第十六图所示先行技术之IC测试装置之其他例之方块图。 |
