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发明名称 RAPID THERMAL PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100190062(B1) 申请公布日期 1999.06.01
申请号 KR19960028886 申请日期 1996.07.16
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 LEE, KIL-KWANG;HUGIHARA, GAZUYUKI
分类号 H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
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