| 发明名称 | 晶圆质量筛选系统 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆质量筛选系统，包括安装有多个支撑脚(2)的装载台(3)，所述每个支撑脚(2)的上端或者下端安装有压力传感器(4)，所述压力传感器(4)电连接有处理单元(5)，所述处理单元(5)还电连接有干机械手(7)和湿机械手(8)。本实用新型晶圆质量筛选系统，应用于半导体制造技术，在CMP制程工艺之前对晶圆的质量进行筛选。 | ||
| 申请公布号 | CN201917817U | 申请公布日期 | 2011.08.03 |
| 申请号 | CN201020674591.8 | 申请日期 | 2010.12.21 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 高思玮 |
| 分类号 | G05B19/418(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | G05B19/418(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种晶圆质量筛选系统，其特征在于：包括安装有多个支撑脚(2)的装载台(3)，所述每个支撑脚(2)的上端安装有压力传感器(4)，所述压力传感器(4)电连接有中央处理单元(5)，所述中央处理单元(5)还电连接有干机械手(7)和湿机械手(8)。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 | ||